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Journal of Electrical Engineering
Édition 70 (2019): Edition 7 (December 2019)
Accès libre
A study of properties of ZrO
2
thin films deposited by magnetron sputtering under different plasma parameters: Biomedical application
Hind Zegtouf
Hind Zegtouf
,
Nadia Saoula
Nadia Saoula
,
Mourad Azibi
Mourad Azibi
,
Larbi Bait
Larbi Bait
,
Noureddine Madaoui
Noureddine Madaoui
,
Mohamed Redha Khelladi
Mohamed Redha Khelladi
et
Mohamed Kechouane
Mohamed Kechouane
| 28 sept. 2019
Journal of Electrical Engineering
Édition 70 (2019): Edition 7 (December 2019)
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Publié en ligne:
28 sept. 2019
Pages:
117 - 121
Reçu:
19 mars 2019
DOI:
https://doi.org/10.2478/jee-2019-0052
Mots clés
ZrO
,
magnetron sputtering
,
thin films
,
hardness
,
corrosion
© 2019 Hind Zegtouf et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 License.