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Acta Universitatis Sapientiae, Electrical and Mechanical Engineering
Édition 8 (2016): Edition 1 (December 2016)
Accès libre
Macroscopic Thin Film Deposition Model for the Two-Reactive-Gas Sputtering Process
András Kelemen
András Kelemen
,
Domokos Biró
Domokos Biró
,
Albert-Zsombor Fekete
Albert-Zsombor Fekete
,
László Jakab-Farkas
László Jakab-Farkas
et
Róbert Rossi Madarász
Róbert Rossi Madarász
| 09 sept. 2017
Acta Universitatis Sapientiae, Electrical and Mechanical Engineering
Édition 8 (2016): Edition 1 (December 2016)
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Publié en ligne:
09 sept. 2017
Pages:
62 - 78
Reçu:
15 févr. 2017
DOI:
https://doi.org/10.1515/auseme-2017-0005
Mots clés
DC magnetron sputtering
,
thin film deposition
,
reactive sputtering
,
macroscopic modelling
© 2016 András Kelemen et al., published by De Gruyter Open
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
András Kelemen
Department of Electrical Engineering, Faculty of Technical and Human Sciences, Sapientia Hungarian University of Transylvania
Tg. Mureş
Domokos Biró
Department of Mechanical Engineering, Faculty of Technical and Human Sciences, Sapientia Hungarian University of Transylvania
Tg. Mureş
Albert-Zsombor Fekete
Department of Electrical Engineering, Faculty of Technical and Human Sciences, Sapientia Hungarian University of Transylvania
Tg. Mureş
László Jakab-Farkas
Department of Electrical Engineering, Faculty of Technical and Human Sciences, Sapientia Hungarian University of Transylvania
Tg. Mureş
Róbert Rossi Madarász
Department of Electrical Engineering, Faculty of Technical and Human Sciences, Sapientia Hungarian University of Transylvania
Tg. Mureş