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Measurement Science Review
Band 10 (2010): Heft 5 (October 2010)
Uneingeschränkter Zugang
Measurement of nanopatterned surfaces by real and reciprocal space techniques
P. Siffalovic
P. Siffalovic
,
K. Vegso
K. Vegso
,
M. Jergel
M. Jergel
,
E. Majkova
E. Majkova
,
J. Keckes
J. Keckes
,
G. Maier
G. Maier
,
M. Cornejo
M. Cornejo
,
B. Ziberi
B. Ziberi
,
F. Frost
F. Frost
,
B. Hasse
B. Hasse
und
J. Wiesmann
J. Wiesmann
| 21. Dez. 2010
Measurement Science Review
Band 10 (2010): Heft 5 (October 2010)
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Online veröffentlicht:
21. Dez. 2010
Seitenbereich:
153 - 156
DOI:
https://doi.org/10.2478/v10048-010-0027-1
Schlüsselwörter
AFM
,
GISAXS
,
nanostructures
,
ion-beam sputtering
This content is open access.
P. Siffalovic
Institute of Physics SAS, Dubravska cesta 9, 84511 Bratislava, Slovakia
K. Vegso
Institute of Physics SAS, Dubravska cesta 9, 84511 Bratislava, Slovakia
M. Jergel
Institute of Physics SAS, Dubravska cesta 9, 84511 Bratislava, Slovakia
E. Majkova
Institute of Physics SAS, Dubravska cesta 9, 84511 Bratislava, Slovakia
J. Keckes
Erich Schmid Institute for Materials Science, Jahnstr. 12, A-8700 Leoben, Austria
G. Maier
Materials Center Leoben Forschung GmbH, Roseggerstr. 12, A-8700 Leoben, Austria
M. Cornejo
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e. V., 04318 Leipzig, Germany
B. Ziberi
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e. V., 04318 Leipzig, Germany
F. Frost
Leibniz-Institut für Oberflächenmodifizierung e. V., 04318 Leipzig, Germany
B. Hasse
Incoatec GmbH, Max-Planck-Str. 2, 21502 Geesthacht, Germany
J. Wiesmann
Incoatec GmbH, Max-Planck-Str. 2, 21502 Geesthacht, Germany