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Materials Science-Poland
Band 31 (2013): Heft 3 (August 2013)
Uneingeschränkter Zugang
Investigation of physicochemical and tribological properties of transparent oxide semiconducting thin films based on Ti-V oxides
M. Mazur
M. Mazur
,
K. Sieradzka
K. Sieradzka
,
D. Kaczmarek
D. Kaczmarek
,
J. Domaradzki
J. Domaradzki
,
D. Wojcieszak
D. Wojcieszak
und
P. Domanowski
P. Domanowski
| 29. Aug. 2013
Materials Science-Poland
Band 31 (2013): Heft 3 (August 2013)
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Online veröffentlicht:
29. Aug. 2013
Seitenbereich:
434 - 445
DOI:
https://doi.org/10.2478/s13536-013-0122-8
Schlüsselwörter
Ti-V oxide thin films
,
transparent oxide semiconductors
,
magnetron sputtering
,
tribological properties
© 2013 Wroclaw University of Technology
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
M. Mazur
Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology, Janiszewskiego 11/17, 50-372, Wroclaw, Poland
K. Sieradzka
Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology, Janiszewskiego 11/17, 50-372, Wroclaw, Poland
D. Kaczmarek
Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology, Janiszewskiego 11/17, 50-372, Wroclaw, Poland
J. Domaradzki
Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology, Janiszewskiego 11/17, 50-372, Wroclaw, Poland
D. Wojcieszak
Faculty of Microsystem Electronics and Photonics, Wroclaw University of Technology, Janiszewskiego 11/17, 50-372, Wroclaw, Poland
P. Domanowski
Faculty of Mechanical Engineering, University of Technology and Life Sciences in Bydgoszcz, Kaliskiego 7, 85-796, Bydgoszcz, Poland