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Structural and surface analysis of chemical vapor deposited boron doped aluminum nitride thin film on aluminum substrates


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Shanmugan Subramani
Nano Optoelectronics Research Laboratory, School of Physics, Universiti Sains Malaysia (USM)Minden, Malaysia
Mutharasu Devarajan
Nano Optoelectronics Research Laboratory, School of Physics, Universiti Sains Malaysia (USM)Minden, Malaysia
eISSN:
2083-134X
Sprache:
Englisch
Zeitrahmen der Veröffentlichung:
4 Hefte pro Jahr
Fachgebiete der Zeitschrift:
Materialwissenschaft, andere, Nanomaterialien, Funktionelle und Intelligente Materialien, Charakterisierung und Eigenschaften von Materialien