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Materials Science-Poland
Band 36 (2018): Heft 4 (December 2018)
Uneingeschränkter Zugang
Optical properties of AlN layers obtained by magnetron sputtering
Piotr Potera
Piotr Potera
,
Grzegorz Wisz
Grzegorz Wisz
und
Łukasz Szyller
Łukasz Szyller
| 01. Feb. 2019
Materials Science-Poland
Band 36 (2018): Heft 4 (December 2018)
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Online veröffentlicht:
01. Feb. 2019
Seitenbereich:
717 - 721
Eingereicht:
29. Dez. 2017
Akzeptiert:
22. März 2018
DOI:
https://doi.org/10.2478/msp-2018-0087
Schlüsselwörter
optical properties
,
thin films
,
AlN
© 2018 Piotr Potera et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 License.
Piotr Potera
Faculty of Mathematics and Natural Sciences, University of Rzeszow
Rzeszow, Poland
Grzegorz Wisz
Faculty of Mathematics and Natural Sciences, University of Rzeszow
Rzeszow, Poland
Łukasz Szyller
Faculty of Mathematics and Natural Sciences, University of Rzeszow
Rzeszow, Poland