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Pixel level vacuum packaging for single layer microbolometer detectors with on pixel lens

M. Yusuf Tanrikulu

M. Yusuf Tanrikulu

Department of Electrical-Electronics Engineering, Adana Alparslan Turkes Science and Technology University, Metu Mems Center, Middle East Technical UniversityAdana,
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Tanrikulu, M. Yusuf
  
11. Juli 2022
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Online veröffentlicht: 11. Juli 2022
Seitenbereich: 203 - 208
Eingereicht: 04. Juni 2022
DOI: https://doi.org/10.2478/jee-2022-0027
Schlüsselwörter
© 2022 M. Yusuf Tanrikulu, published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
Sprache:
Englisch
Zeitrahmen der Veröffentlichung:
6 Hefte pro Jahr
Fachgebiete der Zeitschrift:
Technik, Einführungen und Gesamtdarstellungen, Technik, andere
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