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International Journal on Smart Sensing and Intelligent Systems
Band 1 (2008): Heft 2 (January 2008)
Uneingeschränkter Zugang
A Design Analysis Of Micromirrors In Stacked Configurations With Moving Electrodes
Sangtak Park
Sangtak Park
,
So-Ra Chung
So-Ra Chung
und
John T.W. Yeow
John T.W. Yeow
| 13. Dez. 2017
International Journal on Smart Sensing and Intelligent Systems
Band 1 (2008): Heft 2 (January 2008)
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Online veröffentlicht:
13. Dez. 2017
Seitenbereich:
480 - 497
DOI:
https://doi.org/10.21307/ijssis-2017-303
Schlüsselwörter
Micromirror
,
MEMS
,
Electrostatic Force Actuation
,
Deflection Angle
,
Endoscope
,
OCT (Optical Coherence Tomography)
,
Stacked Micromirror Configuration
© 2008 Sangtak Park et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
Sangtak Park
Department of Systems Design Engineering University of Waterloo
Ontario, Canada
So-Ra Chung
John T.W. Yeow