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International Journal of Advanced Network, Monitoring and Controls
Band 2 (2017): Heft 4 (January 2017)
Uneingeschränkter Zugang
Design of Temperature Sensitive Structure for Micromechanical Silicon Resonant Accelerometer
Heng Li
Heng Li
,
Libin Huang
Libin Huang
,
Qinqin Ran
Qinqin Ran
und
Songli Wang
Songli Wang
| 09. Apr. 2018
International Journal of Advanced Network, Monitoring and Controls
Band 2 (2017): Heft 4 (January 2017)
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Online veröffentlicht:
09. Apr. 2018
Seitenbereich:
56 - 60
DOI:
https://doi.org/10.21307/iccnea.2017.91
Schlüsselwörter
Accelerometer
,
MEMS
,
Resonant
,
Temperature error
,
Temperature measurement structure
© 2017 Heng Li et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Heng Li
School of Instrument Science and Engineering Southeast University
Nanjing, China
Libin Huang
School of Instrument Science and Engineering Southeast University
Nanjing, China
Qinqin Ran
School of Instrument Science and Engineering Southeast University
Nanjing, China
Songli Wang
Aviation Key Laboratory of Science and Technology on Inertia FACRI
Xi’an, China