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Latvian Journal of Physics and Technical Sciences
Volume 49 (2012): Numero 5 (Ottobre 2012)
Accesso libero
Diffractive grating recording in chalcogenide thin films
V. Kolbjonoks
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Teteris, J.
23 nov 2012
Latvian Journal of Physics and Technical Sciences
Volume 49 (2012): Numero 5 (Ottobre 2012)
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Pubblicato online:
23 nov 2012
Pagine:
56 - 62
DOI:
https://doi.org/10.2478/v10047-012-0027-z
Parole chiave
diffractive grating
,
recording
,
electron beam lithography,chalcogenide thin films.
This content is open access.
Kolbjonoks, V.
Gerbreders, V.
Teteris, J.