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Measurement Science Review
Volume 16 (2016): Numero 4 (August 2016)
Accesso libero
Sensitivity Jump of Micro Accelerometer Induced by Micro-fabrication Defects of Micro Folded Beams
Wu Zhou
Wu Zhou
,
Lili Chen
Lili Chen
,
Huijun Yu
Huijun Yu
,
Bei Peng
Bei Peng
e
Yu Chen
Yu Chen
| 19 ago 2016
Measurement Science Review
Volume 16 (2016): Numero 4 (August 2016)
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Pubblicato online:
19 ago 2016
Pagine:
228 - 234
Ricevuto:
03 gen 2016
Accettato:
10 ago 2016
DOI:
https://doi.org/10.1515/msr-2016-0028
Parole chiave
MEMS
,
micro accelerometer
,
stiffness
,
sensitivity
,
defect
© 2016 Wu Zhou et al., published by De Gruyter Open
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.