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Measurement Science Review
Édition 21 (2021): Edition 3 (Juin 2021)
Accès libre
3D Printed Pressure Sensor Based on Surface Acoustic Wave Resonator
Baofa Hu
Baofa Hu
Pen-Tung Sah Institute of Micro-Nano Science and Technology, Xiamen University
Xiamen, China
Shenzhen Research Institute of Xiamen University
Shenzhen, China
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Hu, Baofa
,
Zhiwei Li
Zhiwei Li
Pen-Tung Sah Institute of Micro-Nano Science and Technology, Xiamen University
Xiamen, China
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Li, Zhiwei
,
Yuanjie Wan
Yuanjie Wan
School of Electronic Science and Engineering, Xiamen University
Xiamen, China
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Wan, Yuanjie
,
Peng Zhou
Peng Zhou
Pen-Tung Sah Institute of Micro-Nano Science and Technology, Xiamen University
Xiamen, China
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Shenzhen, China
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Zhou, Peng
,
Chunquan Zhang
Chunquan Zhang
Pen-Tung Sah Institute of Micro-Nano Science and Technology, Xiamen University
Xiamen, China
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Zhang, Chunquan
et
Haisheng San
Haisheng San
Pen-Tung Sah Institute of Micro-Nano Science and Technology, Xiamen University
Xiamen, China
School of Electronic Science and Engineering, Xiamen University
Xiamen, China
Shenzhen Research Institute of Xiamen University
Shenzhen, China
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San, Haisheng
24 juin 2021
Measurement Science Review
Édition 21 (2021): Edition 3 (Juin 2021)
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Publié en ligne:
24 juin 2021
Pages:
76 - 81
Reçu:
30 mars 2021
Accepté:
31 mai 2021
DOI:
https://doi.org/10.2478/msr-2021-0011
Mots clés
Surface acoustic wave
,
3D printing
,
gas pressure sensor
,
LiNbO3
© 2021 Baofa Hu et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
