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International Journal on Smart Sensing and Intelligent Systems
Édition 3 (2010): Edition 1 (Janvier 2010)
Accès libre
Development and Characterization of Surface Micro-Machined MEMS Based Varactor
Subha Chakraborty
Subha Chakraborty
Dept. of Electronics and Electrical Communication Engineering, Indian Institute of Technology Kharagpur
Kharagpur, India
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Chakraborty, Subha
,
A. Bhattacharya
A. Bhattacharya
Dept. of Electronics and Electrical Communication Engineering, Indian Institute of Technology Kharagpur
Kharagpur, India
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Bhattacharya, A.
,
Ashesh Ray Chaudhuri
Ashesh Ray Chaudhuri
Advanced Technology Development Centre, Indian Institute of Technology Kharagpur
Kharagpur, India
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Chaudhuri, Ashesh Ray
et
T.K. Bhattacharyya
T.K. Bhattacharyya
Dept. of Electronics and Electrical Communication Engineering, Indian Institute of Technology Kharagpur
Kharagpur, India
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Bhattacharyya, T.K.
13 déc. 2017
International Journal on Smart Sensing and Intelligent Systems
Édition 3 (2010): Edition 1 (Janvier 2010)
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Publié en ligne:
13 déc. 2017
Pages:
94 - 107
DOI:
https://doi.org/10.21307/ijssis-2017-382
Mots clés
MEMS
,
varactor
,
VCO
,
capacitance tuning ratio
,
pull-in
,
SEM
,
vibration spectrum
,
LDV
© 2010 Subha Chakraborty et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
