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Journal of Electrical Engineering
Édition 67 (2016): Edition 6 (December 2016)
Accès libre
Effects of HSQ e–beam Resist Processing on the Fabrication of ICP–RIE Etched TiO
2
Nanostructures
Ivan Hotovy
Ivan Hotovy
,
Ivan Kostic
Ivan Kostic
,
Martin Predanocy
Martin Predanocy
,
Pavol Nemec
Pavol Nemec
et
Vlastimil Rehacek
Vlastimil Rehacek
| 30 déc. 2016
Journal of Electrical Engineering
Édition 67 (2016): Edition 6 (December 2016)
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Publié en ligne:
30 déc. 2016
Pages:
454 - 458
Reçu:
07 juil. 2016
DOI:
https://doi.org/10.1515/jee-2016-0067
Mots clés
HSQ e-beam resist
,
ICP-RIE etching
,
TiO dots array
© 2016 Faculty of Electrical Engineering and Information Technology, Slovak University of Technology
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Ivan Hotovy
Institute of Electronics and Photonics, Slovak University of Technology, Ilkovičova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia
Ivan Kostic
Institute of Informatics, Slovak Academy of Sciences, Dúbravská cesta 9, 845 07 Bratislava, Slovakia
Martin Predanocy
Institute of Electronics and Photonics, Slovak University of Technology, Ilkovičova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia
Pavol Nemec
Institute of Informatics, Slovak Academy of Sciences, Dúbravská cesta 9, 845 07 Bratislava, Slovakia
Vlastimil Rehacek
Institute of Electronics and Photonics, Slovak University of Technology, Ilkovičova 3, 812 19 Bratislava, Slovakia