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Materials Science-Poland
Band 37 (2019): Heft 3 (September 2019)
Uneingeschränkter Zugang
SiN/SiO
2
passivation stack of n-type silicon surface
A. El Amrani
A. El Amrani
,
R. Si-Kaddour
R. Si-Kaddour
,
M. Maoudj
M. Maoudj
und
C. Nasraoui
C. Nasraoui
| 18. Okt. 2019
Materials Science-Poland
Band 37 (2019): Heft 3 (September 2019)
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Online veröffentlicht:
18. Okt. 2019
Seitenbereich:
482 - 487
Eingereicht:
28. Okt. 2018
Akzeptiert:
23. Apr. 2019
DOI:
https://doi.org/10.2478/msp-2019-0065
Schlüsselwörter
silicon
,
passivation
,
silicon nitride
,
oxide
© 2019 A. El Amrani et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
A. El Amrani
Research Center in Semiconductor Technology for Energetic
Algiers, Algeria
R. Si-Kaddour
Research Center in Semiconductor Technology for Energetic
Algiers, Algeria
M. Maoudj
Research Center in Semiconductor Technology for Energetic
Algiers, Algeria
C. Nasraoui
Research Center in Semiconductor Technology for Energetic
Algiers, Algeria