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Materials Science-Poland
Band 36 (2018): Heft 4 (December 2018)
Uneingeschränkter Zugang
Influence of magnetron powering mode on various properties of TiO
2
thin films
Artur Wiatrowski
Artur Wiatrowski
,
Michał Mazur
Michał Mazur
,
Agata Obstarczyk
Agata Obstarczyk
,
Danuta Kaczmarek
Danuta Kaczmarek
,
Roman Pastuszek
Roman Pastuszek
,
Damian Wojcieszak
Damian Wojcieszak
,
Marcin Grobelny
Marcin Grobelny
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Małgorzata Kalisz
Małgorzata Kalisz
| 01. Feb. 2019
Materials Science-Poland
Band 36 (2018): Heft 4 (December 2018)
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Online veröffentlicht:
01. Feb. 2019
Seitenbereich:
748 - 760
Eingereicht:
08. Nov. 2018
Akzeptiert:
24. Nov. 2018
DOI:
https://doi.org/10.2478/msp-2018-0099
Schlüsselwörter
titanium alloys
,
TiO
,
sputtering
,
mechanical properties
,
structural properties
,
thin films
© 2018 Artur Wiatrowski et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 License.