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Journal of Electrical Engineering
Band 71 (2020): Heft 2 (April 2020)
Uneingeschränkter Zugang
Functional nano-structuring of thin silicon nitride membranes
Milan Matějka
Milan Matějka
,
Stanislav Krátký
Stanislav Krátký
,
Tomáš Řiháček
Tomáš Řiháček
,
Alexandr Knápek
Alexandr Knápek
und
Vladimír Kolařík
Vladimír Kolařík
| 13. Mai 2020
Journal of Electrical Engineering
Band 71 (2020): Heft 2 (April 2020)
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Online veröffentlicht:
13. Mai 2020
Seitenbereich:
127 - 130
Eingereicht:
19. Dez. 2019
DOI:
https://doi.org/10.2478/jee-2020-0019
Schlüsselwörter
membrane
,
nano optical device
,
electron optics
,
electron beam lithography
,
silicon nitride
,
reactive ion etching
,
silicon etching
,
microfabrication
© 2020 Milan Matějka et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.