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Advances in Materials Science
Band 24 (2024): Heft 1 (March 2024)
Uneingeschränkter Zugang
Structural and Optical Properties of Aluminium Nitride Thin Films Fabricated Using Pulsed Laser Deposition and DC Magnetron Sputtering on Various Substrates
Ihor Virt
Ihor Virt
,
Piotr Potera
Piotr Potera
,
Grzegorz Wisz
Grzegorz Wisz
,
Andrzej Dziedzic
Andrzej Dziedzic
,
Bogumił Cieniek
Bogumił Cieniek
,
Ivan Lopatynskyi
Ivan Lopatynskyi
und
Marian Frugynskyi
Marian Frugynskyi
| 16. März 2024
Advances in Materials Science
Band 24 (2024): Heft 1 (March 2024)
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Online veröffentlicht:
16. März 2024
Seitenbereich:
5 - 16
DOI:
https://doi.org/10.2478/adms-2024-0001
Schlüsselwörter
thin solid films
,
AlN
,
optical properties
,
structural properties
,
PLD
,
DC magnetron sputtering
© 2024 Ihor Virt et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Ihor Virt
Drohobych State Pedagogical University
Ukraine
Piotr Potera
Institute of Materials Engineering, College of Natural Sciences, University of Rzeszow
Poland
Grzegorz Wisz
Institute of Materials Engineering, College of Natural Sciences, University of Rzeszow
Poland
Andrzej Dziedzic
Institute of Physics, College of Natural Sciences, University of Rzeszow
Poland
Bogumił Cieniek
Institute of Materials Engineering, College of Natural Sciences, University of Rzeszow
Poland
Ivan Lopatynskyi
Lviv Polytechnic National University
Lviv, Ukraine
Marian Frugynskyi
Lviv Polytechnic National University
Lviv, Ukraine