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International Journal on Smart Sensing and Intelligent Systems
Band 7 (2014): Heft 5 (January 2014)
Uneingeschränkter Zugang
Thickness Measurement of Aluminum Thin Film using Dispersion Characteristic of Surface Acoustic Wave
Ik Keun Park
Ik Keun Park
und
Tae Sung Park
Tae Sung Park
| 15. Feb. 2020
International Journal on Smart Sensing and Intelligent Systems
Band 7 (2014): Heft 5 (January 2014)
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Online veröffentlicht:
15. Feb. 2020
Seitenbereich:
1 - 4
DOI:
https://doi.org/10.21307/ijssis-2019-049
Schlüsselwörter
component
,
scanning acoustic microscope
,
V(z) curve
,
dipersion;surface wave velocity
,
thin film thickness
© 2019 Ik Keun Park et al., published by Sciendo.
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.
Ik Keun Park
Department of Mechanical &Automotive Engineering Seoul National University of Science and Technology Seoul
Seoul, Korea
Tae Sung Park
Department of Mechanical Engineering Hanyang University Seoul
Seoul, Korea