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International Journal on Smart Sensing and Intelligent Systems
Band 1 (2008): Heft 4 (Januar 2008)
Uneingeschränkter Zugang
Design and Optimization of Bulk Micromachined Accelerometer for Space Applications
Thampi Paul
Thampi Paul
ISRO Inertial Systems Unit
Vattiyoorkavu, India
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Paul, Thampi
,
Jaspreet Singh
Jaspreet Singh
Semi-Conductor Laboratory (SCL), Dept. of Space
Punjab, Punjab
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Singh, Jaspreet
,
M. M. Nayak
M. M. Nayak
Semi-Conductor Laboratory (SCL), Dept. of Space
Punjab, Punjab
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Nayak, M. M.
,
K. Rajanna
K. Rajanna
ISRO Inertial Systems Unit
Vattiyoorkavu, India
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Rajanna, K.
und
M. Sasi Kumar
M. Sasi Kumar
Dept. of Electronics & Communication, Marian Engg. College
Kerala, India
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Kumar, M. Sasi
02. Nov. 2017
International Journal on Smart Sensing and Intelligent Systems
Band 1 (2008): Heft 4 (Januar 2008)
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COVER HERUNTERLADEN
Online veröffentlicht:
02. Nov. 2017
Seitenbereich:
1019 - 1030
DOI:
https://doi.org/10.21307/ijssis-2017-333
Schlüsselwörter
Microstructure
,
Microelectromechanical Systems
,
Accelerometer
© 2008 Thampi Paul et al., published by Sciendo
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 4.0 International License.