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Materials Science-Poland
Band 34 (2016): Heft 4 (December 2016)
Uneingeschränkter Zugang
Epitaxial regrowth of InP/InGaAs heterostructure on patterned, nonplanar substrates
Łukasz Kosior
Łukasz Kosior
,
Damian Radziewicz
Damian Radziewicz
,
Iwona Zborowska-Lindert
Iwona Zborowska-Lindert
,
Andrzej Stafiniak
Andrzej Stafiniak
,
Mikołaj Badura
Mikołaj Badura
und
Beata Ściana
Beata Ściana
| 06. Nov. 2016
Materials Science-Poland
Band 34 (2016): Heft 4 (December 2016)
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Online veröffentlicht:
06. Nov. 2016
Seitenbereich:
872 - 880
Eingereicht:
25. Apr. 2016
Akzeptiert:
06. Sept. 2016
DOI:
https://doi.org/10.1515/msp-2016-0103
Schlüsselwörter
epitaxy
,
MOVPE
,
patterned substrate
,
wet etching
,
mask material
© 2016 Wroclaw University of Technology
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.