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On Both Spatial And Velocity Distribution Of Sputtered Particles In Magnetron Discharge

C. Vitelaru

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Vitelaru, C.
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V. Pohoata

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V. Tiron

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Costin, C.
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G. Popa

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Popa, G.
  
05. Okt. 2015
On Both Spatial And Velocity Distribution Of Sputtered Particles In Magnetron Discharge's Cover Image
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Online veröffentlicht: 05. Okt. 2015
Seitenbereich: 43 - 57
Eingereicht: 28. Dez. 2011
Akzeptiert: 19. Jan. 2012
DOI: https://doi.org/10.1515/awutp-2015-0007
Schlüsselwörter
© C. Vitelaru et al.
This work is licensed under the Creative Commons Attribution-NonCommercial-NoDerivatives 3.0 License.
Vitelaru, C.
Pohoata, V.
Tiron, V.
Costin, C.
Popa, G.
Sprache:
Englisch
Zeitrahmen der Veröffentlichung:
1 Hefte pro Jahr
Fachgebiete der Zeitschrift:
Materialwissenschaft, Modellierung und Simulation, Physik, Festkörperphysik, Medizinische Physik, Theoretische und mathematische Physik
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